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半导体制造装置用部件
半导体制造装置用部件具备:陶瓷板,其上表面具有晶片载放面且内置有静电电极,该晶片载放面的基准面设置有大量小突起;插塞配置孔,其以沿上下方向延伸的方式设置于陶瓷板;静电电极开口部,其设置于静电电极的供插塞配置孔贯穿的位置;冷却板,其设置于陶瓷...
基板支承组件、基板处理装置及基板处理方法
本发明提供一种基板支承组件。基板支承组件的基座具有流路。第1容器构成为能够以通过其内部的第1容量的减少而经由至少一个第1配管向流路供给传热介质的方式变更该第1容量。第2容器构成为能够以通过其内部的第2容量的减少而向流路供给气体的公司变更该第...
被动举升销组件
一种基板支撑组件包括可在升高位置、在升高位置下面的降低位置以及升高位置与降低位置之间的中间位置之间移动的基板支撑件。举升销在穿过基板支撑件的孔中设置,并且可相对于基板支撑件垂直地移动。在使用中,基板支撑组件在第一配置与第二配置之间转变。在第...
用于装置制作期间能量势垒的非接触式测量的系统和方法
用于在晶体管的制作期间测量所述晶体管的能量势垒的系统和方法,包括:针对多个光子能量中的每个光子能量确定晶体管的光电流;基于所述带电粒子束的多个着陆能量中的每个着陆能量的光电流确定能量势垒;以及确定所述晶体管的能量势垒,其中所述能量势垒是零电...
并行流散热器
一种流体冷却并行散热器,该流体冷却并行散热器包括流体入口和流体出口以及由盖和槽体界定的冷却室。流体冷却并行散热器还包括位于冷却室内的中间部件和多个鳍片,其中中间构件至少部分地将冷却室分隔成入口室、鳍片室、以及出口室,该多个鳍片位于鳍片室中。...
用于接合已知良好裸片的晶片的方法及以此类方法产生的组合件
本发明提供一种形成半导体晶片的方法。所述方法包含将晶片切割成裸片,测试所述裸片以挑选出已知良好裸片,及将已知良好裸片接合到载体晶片以形成顶部KGD晶片。所述方法还包含填充顶部裸片之间的间隙以在所述顶部裸片中的每一者周围及上方形成顶部间隙填充...
用于嵌入部件的模制芯基板
本公开将有源和无源电子部件放置在基板上,并用模具材料包封以产生用于制造混合集成电路(IC)器件的模制芯基板。载体具有层压到其面的离型膜。在离型膜上方添加铜的晶种层,并且将基准电镀到该铜晶种层上,以使用基准上的对准标记进行部件放置。将模具材料...
用于混合接合中的高强度非对称电介质的方法及结构
一种用于半导体装置的在顶表面上具有电介质膜的第一结构可以用于形成由具有减少的电介质表面积及减少的金属柱的节距的混合接合结构所组成的半导体装置。第一结构的电介质膜的顶表面可以混合接合至第二结构的电介质层。第一结构的电介质膜与第二结构的电介质层...
一种滑触线检测方法及装置、控制器、介质及产品
本申请提出一种滑触线检测方法及装置、控制器、介质及产品,应用于缺陷检测技术领域,方法包括:获取碳刷的当前温度;对碳刷当前所处滑触线的位置进行二维码拍摄,获得碳刷的当前位置信息,其中,滑触线设置有多个二维码,每个二维码对应有一个位置信息;根据...
打浆机
本发明公开了打浆机,包括:左机罩,所述左机罩的右侧安装有右机罩,所述左机罩和右机罩的底部安装有横向刀轴,所述横向刀轴的表面安装有打浆刀片,相邻所述打浆刀片之间连接有钎杆,所述横向刀轴的两端表面安装有刀杆,所述横向刀轴的端部连接有活动连接轴,...
一种自走式作物根茬可控燃烧装备及其工作方法
本发明提供了一种自走式作物根茬可控燃烧装备及其工作方法,属于农机装备技术领域。该装备以走行机构为移动基础,适配复杂农田地形,收集传输、破碎分离、燃烧换热、烟尘处理机构均装于走行机构并与控制机构电连接,可自动化启停作业;走行机构移动时,收集传...
一种用于生态修复的土壤处理设备
本发明公开了一种用于生态修复的土壤处理设备,包括处理框,所述处理框的侧壁固定有药液罐,所述药液罐的上侧壁固定有门型柱,所述门型柱远离药液罐的一端固定有固定罩,所述固定罩倾斜设置,且固定罩的顶部固定有电动推杆,所述电动推杆的驱动端活动贯穿固定...
一种荒漠化草地植被修复装置
本发明属于植被修复技术领域,具体涉及一种荒漠化草地植被修复装置,包括桁架,桁架底部的一侧安装有至少一个行进轮,桁架的顶部固定有草籽箱,草籽箱的底部安装有导料管,草籽箱内储存有草籽,导料管的底端延伸至桁架的底部,桁架上还安装有导水结构,导水结...
水稻周年轮作用整地设备及使用方法
本发明提供水稻周年轮作用整地设备及使用方法,属于水稻周年轮作用整地设备技术领域;包括牵引车、卡接板、螺纹插栓和卡接配套板,所述牵引车的正面固定连接有卡接板,所述卡接板的顶部开设有螺纹插栓孔,所述螺纹插栓孔的内部螺纹连接有螺纹插栓,所述卡接板...
一种玉米大豆轮作秸秆深混还田装置
本发明公开了一种玉米大豆轮作秸秆深混还田装置,具体涉及农业机械技术领域,包括安装架、辊筒、多个触动块、检测动力件以及还田供给件,安装架的内部转动有辊筒,辊筒一侧设有多个触动块;检测动力件,安装在安装架的底端;每个触动块的一侧均安装有还田供给...
一种秸秆粉碎翻埋还田一体化设备
本发明属于秸秆还田设备技术领域,尤其涉及一种秸秆粉碎翻埋还田一体化设备,包括根茎分离组件、粉碎组件和还埋组件等,根茎分离组件用于对秸秆进行根茎分离,粉碎组件用于对完成根茎分离的秸秆进行勾耙粉碎,还埋组件用于在秸秆碎下方新土层挖出沟槽并将与土...
一种盐碱地微域改良小麦播种装置
本发明涉及农业播种机械技术领域,具体公开了一种盐碱地微域改良小麦播种装置,包括机架,机架上安装有若干个播种组件,播种组件包括转盘和安装架,安装架上通过定位件固定有水平切刀,水平切刀的一端设有刃口,水平切刀远离刃口的位置开设有弧形槽,弧形槽的...
一种麦茬大豆宽幅播种机及播种方法
本发明公开了一种麦茬大豆宽幅播种机及播种方法,包括机架总成、犁刀盘和楔形刀块,每相邻两个犁刀盘之间形成有幅宽间隙,每个楔形刀块分别设置在每个幅宽间隙前方,楔形刀块被配置为受力后滑动嵌入幅宽间隙内以推挤两个犁刀盘相背移动扩大幅宽间隙。通过在前...
一种草坪修复一体化装置及其修复方法
本申请涉及市政草坪技术领域,具体的为一种草坪修复一体化装置及其修复方法,包括修复机构和输送机构,所述修复机构包括旋转管、松土叶片、断根组件和传动组件,所述松土叶片和断根组件设置在旋转管的外部,且松土叶片和断根组件设有多组,肥料可进入旋转管内...
用于硬质土壤生态修复播种设备
本发明涉及生态修复技术领域,提供一种用于硬质土壤生态修复播种设备,包括工作台、壳体、插筒、驱动组件、碎土组件和播种组件;壳体上开设有投料口;插筒连接于工作台下方;驱动组件活动设于插筒内,驱动组件包括旋转驱动部和配合部,配合部位于壳体内并与壳...
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