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摄影电影;光学设备的制造及其处理,应用技术
  • 本申请提供一种生物芯片及其制备方法,该制备方法包括于基底的表面上形成衬底;于衬底的表面形成牺牲层;于牺牲层的表面上形成压印胶层;对压印胶层进行压印和固化以形成固化胶层,固化胶层具有多个间隔设置的孔结构;去除每个孔结构内的牺牲层,以露出衬底;...
  • 本发明公开了一种带大质点配重块的高稳定性机械轮构造,属于机械能与机械轮发电技术领域。该构造由变径轴、轴承箱、机械轮轮毂、轮缘、轮辐及质点配重块装置组成;轮辐构成的支撑架采用上窄下宽结构,中间设置相邻辐圈和抗剪斜支撑;质点配重块装置在轮缘内均...
  • 本发明属于新能源储能技术领域,尤其是一种基于沙漠沙与废旧矿坑的复合型重力储能系统及方法,包括矿坑,重力储能单元,其中重力储能单元包括:重力块制备模块,用于将沙子原料制备重力块;动力传输模块,用于在储能模式下,利用电能将重力块从矿坑底部低位储...
  • 本发明公开一种可变偏振、深宽比及像面旋转的高通量直写光刻方法,包括如下步骤:提供包括至少两种不同波长的光源,通过数字微镜阵列的开关状态切换光源,以选择性地使用不同波长的光源生成刻写光束;对数字微镜阵列反射的刻写光束进行偏振调制;通过光束调制...
  • 本实用新型公开一种混合光源时序投影系统,包括第一光源组、第二光源组和电致变色器;所述第一光源组和第二光源组的发射光束的方向相互垂直,所述第一光源组的光束和所述第二光源组的光束波段范围不同;所述电致变色器设置在所述第一光源组和第二光源组的出射...
  • 所公开主题涉及用于半导体处理的可持续/更环保的解决方案的水溶性晶圆边缘保护层(EPL)材料。
  • 本申请属于纸碗技术领域,公开了一种环保大容量纸碗,包括纸碗主体,所述纸碗主体的侧壁上热压成型有朝向纸碗主体内延伸的第一凹槽与第二凹槽,所述第一凹槽的顶部和第二凹槽的顶部均与纸碗主体的上端连通,第一凹槽靠近纸碗主体轴线的一侧热压成型有第一插槽...
  • 本实用新型提供了一种可折叠餐盘,属于餐具技术领域。它解决了现有的餐盘的大小尺寸都是固定的,适用性不高,容易造成浪费等问题。本实用新型的餐盘由一张平展的片材翻折而成,片材上设有多组折痕线,每组折痕线包括呈井字型分布的两条横向折线和两条纵向折线...
  • 本实用新型涉及镜头XY方向调节技术领域的一种镜头XY双向移动模组,包括:安装底座,其底部开设有通槽,其内部开设有Y方向的安装孔,其内部开设有固定安装通孔;活动安装机构,其活动设于所述安装底座的内侧,其底部开设有通槽,其内部开设有X方向的安装...
  • 本申请公开了一种偏转线圈的控制方法、电子束曝光机、介质及产品,应用于电子束曝光技术领域。方法应用于包括第一数模转换器、第二数模转换器和偏转线圈的电子束曝光机,第一数模转换器的转换速率低于第二数模转换器,第一数模转换器的转换精度高于第二数模转...
  • 本发明公开了大口径衍射结构剂量‑路径联合优化与拼接方法,涉及衍射结构制造技术领域,包括对大口径衍射结构的设计版图进行几何解析,得到分场与重叠区的空间布局数据并提取形貌控制相关关键特征点;以该空间布局数据和关键特征点为输入,训练以拼接区形貌平...
  • 一种量测方法,包括:在衬底上执行第一次曝光,以形成包括多个第一目标单位的第一图案化层,每个第一目标单位包括第一目标特征;在衬底上执行第二次曝光,以形成第二图案化层,该第二图案化层包括与相应一些第一目标单位套刻的多个第二目标单位,每个第二目标...
  • 本发明涉及物流运送技术领域,具体涉及一种物流运送用搬运装置包括底板,所述底板的左右两侧对称设置有至少一组的侧板,还包括滑移支架,滑动连接设置在侧板靠近底板的一侧,所述滑移支架靠近底板一侧的两端分别滑动连接设置有用于支撑搬运箱体的支撑板,所述...
  • 本实用新型公开了一种光刻机用复眼结构,涉及光刻机技术领域,该光刻机用复眼结构,包括安装转接板,所述安装转接板的一侧设置有第一聚焦镜,所述第一聚焦镜的一侧设置有第二聚焦镜,所述第二聚焦镜的一侧设置有第三聚焦镜,所述第二聚焦镜的外部设置有第一外...
  • 本发明公开了一种片件摆放顺序防错装置,包括多维感知模块、智能控制模块、可重构定位模块、执行干预模块、区块链追溯模块及人机交互模块,各模块通过工业以太网通信;多维感知模块与智能控制模块采用时间敏感网络协议保障数据传输确定性,多维感知模块集成A...
  • 公开一种叠加计量系统。所述叠加计量系统可包含具有一或多个处理器的控制器。所述处理器可经配置以执行程序指令以引起所述处理器接收来自叠加目标的所收集光的光瞳图像及接收待引入到指向所述叠加目标的照明光束的已知相位分布。所述处理器可模型化与所述光瞳...
  • 目的在于,提供在使用LED作为光源的曝光装置的光源单元中能够抑制与LED对应设置的透镜的位置偏移的固定方法。光源单元具备:固定对象物(21);分别设于在所述固定对象物(21)上沿第1方向排列的第1及第2区域的、分别包含多个光源元件(23)的...
  • 本申请涉及一种金融业务的风险评估方法、装置、计算机设备、存储介质和计算机程序产品,涉及信息安全技术领域。该方法包括:获取待评估金融业务对应的功能需求文本信息;对功能需求文本信息进行关键词提取,得到初始功能需求特征集合;将初始功能需求特征集合...
  • 本发明提供能够同时解决二次电子的空间滞留与偏转器电极带电引起的射束位置的变动的带电粒子束描绘装置。本实施方式的带电粒子束描绘装置具备:调整照射到描绘对象的基板的带电粒子束的照射位置的定位偏转器;固定偏转器,配置于比所述定位偏转器靠所述带电粒...
  • 本申请公开了一种对准调平系统、对准调平方法及光刻设备,属于半导体设备技术领域。本申请中的对准调平系统包括:位于预对准位的预对准单元,进行基材的预对准;位于上片位的粗对准粗调平单元,分别进行基材的粗对准和粗调平,其中第一调平模块相较于第一对准...
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