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摄影电影;光学设备的制造及其处理,应用技术
  • 本发明公开了一种光刻机动态大面积调焦调平方式,掩膜台承载掩膜版从初始位移动至曝光对准位的过程中,以匀速运动的方式经过第一测量区域,并在第一测量区域完成对掩膜版的全局调焦调平工作,工作台承载工件从上片位移动至曝光位的过程中,以匀速运动的方式经...
  • 本发明涉及一种用于半导体涂胶显影设备的工艺校准盘及其校准方法,工艺校准盘为圆盘状且由透明材质制成,其外径大于标准晶圆的直径;工艺校准盘的盘面上集成有:一套复合基准坐标系,包括以工艺校准盘的圆心为原点且相互垂直的坐标轴刻线以及围绕圆心设置的一...
  • 本发明公开了一种用于直写光刻的套刻对准方法及系统;该套刻对准方法包括:在待光刻的目标区域,选取第一对准标记和第二对准标记,并基于第一对准标记进行初步对准,在初步对准后计算第二对准标记的校准坐标及其校准误差;判断迭代停止条件:若所有第二对准标...
  • 本发明涉及具有可变光圈的镜头组件,其包括:壳体;光学镜头;以及可变光圈,其包括第一筒状体、第二筒状体、第二悬挂系统、第二驱动装置和叶片组;所述第一筒状体套在所述第二筒状体外侧,并且所述第一筒状体通过所述第二悬挂系统与所述第二筒状体活动连接;...
  • 本发明提供一种能够小型化的光学装置。所述光学装置包括透镜单元,驱动单元被构造为包括基座构件、移位构件和推压构件,圆柱体被构造为支撑所述驱动单元,以及第一耦合部构造为与所述推压构件耦合。沿着所述透镜单元的光轴方向的槽被设置在所述圆柱体内部。所...
  • 本发明公开一种光学邻近校正操作方法与光学邻近校正操作装置。光学邻近校正操作方法包括以下步骤。获得一光掩模布局图。若光掩模布局图具有至少一缺陷热点,则根据缺陷热点,从光掩模布局图取出至少一局部区域图案。以一机器学习模型分析局部区域图案,以获得...
  • 本发明涉及发动机的技术领域,尤其是涉及一种弹簧蓄能机车发动机,包括底板、车轮轴、能量存储箱和变速箱及发电机,车轮轴安装在底板的底部,能量存储箱固定在底板上,能量存储箱包括箱体、蓄能弹簧组和第一驱动组件,箱体的一端转动设置有驱动轴,容纳腔中滑...
  • 本公开提供了一种套刻对准件,套刻对准件包括套刻对准本体和通气孔,套刻对准本体的顶面向内凹陷形成承载槽,承载槽与通气孔相连通。承载槽包括承载区和通气轨道,通气轨道与通气孔相连通,承载区用于承载第一晶圆,第一晶圆包括主解理边和副解理边。承载区与...
  • 本发明提供具有特别高的干蚀刻速度的抗蚀剂下层膜、该抗蚀剂下层膜形成用组合物、抗蚀剂图案形成方法和半导体装置的制造方法。一种抗蚀剂下层膜形成用组合物,其包含:含有环氧基的化合物、与包含1个与环氧基具有反应性的部位的杂环化合物的反应生成物;以及...
  • 本公开涉及一种掩膜版图形检验方法、装置、电子设备及存储介质;掩膜版图形检验方法包括:对圆形孔洞对应的掩膜版图形进行孔洞仿真,得到对应的仿真结果,基于掩膜版图形对应的方形仿真目标,得到八边形的参考仿真目标,参考仿真目标的每一条边上设置有量测点...
  • 本公开提供了一种增强高阶衍射光的双层套刻误差测量标记的优化方法,可应用于半导体制造工艺中的计量与检测技术领域,该方法首先构建包含两层相同光栅结构的标记,每层光栅的周期单元内均设有主光栅脊和次光栅脊。基于标量衍射理论分别确定主、次光栅脊的初始...
  • 描述了基于光学旋涡的量测系统和方法。辐射源被配置为用辐射来辐射图案化衬底的一个或多个层中的量测目标。量测目标被配置为衍射来自辐射源的辐射并向来自辐射源的辐射赋予轨道角动量。辐射传感器被配置为基于从量测目标接收的经衍射的辐射的轨道角动量来生成...
  • 本公开提供了一种光学系统、处理方法及显示设备,应用于光学技术领域。该光学系统,包括:光源组件,包括与三原色分别对应的至少一个发光芯片,同一时刻同一颜色的发光芯片产生单色光线;显示器组件,包括多个显示区域;第一调制组件,具有与多个显示区域对应...
  • 本实用新型公开了一种防止电路偏移的印刷冲版机,包括:制版机,所述制版机的前侧固定连接显影仓,所述显影仓的内壁固定连接有晒版台,所述显影仓的顶部设置有喷淋装置,所述显影仓的内部设置有夹送装置,所述夹送装置的外壁设置有输送装置,所述显影仓的内部...
  • 本申请实施例提供了一种掩膜版及其设计方法。在本申请实施例所提供掩膜版中,对于包括至少两个目标图形的图形阵列而言,由于每个目标图形的角部均设置有至少一个与侧边所在直线之间的夹角呈锐角或钝角的第二辅助图形,且第二辅助图形与相邻的角部之间的距离小...
  • 提供感光性树脂层叠体、抗蚀图案的形成方法和电路板的制造方法。感光性树脂层叠体具备支撑薄膜和包含感光性树脂组合物的感光性树脂层,该组合物包含A碱溶性高分子、B具有烯属不饱和键的化合物、和C聚合引发剂,A成分包含含有单体成分作为结构单元的共聚物...
  • 公开感光性树脂组合物及其用途、显示设备、和半导体装置。所述感光性树脂组合物包含:碱可溶树脂、不同于该碱可溶树脂的可聚合单体、及包括至少一种由式I所示的肟酯类化合物的光引发剂。该式I所示的肟酯类化合物具有高的热稳定性,在一般用于制备感光性树脂...
  • 本发明提供一种光学设备、图像稳定装置、镜筒和摄像设备,所述光学设备能够以简单的构造调节透镜的位置,所述简单的构造能够在不使光学性能劣化的情况下实现小型化。透镜组以能沿着光轴移动的方式配置在光轴上。第一轴平行于光轴配置并且具有第一固定部和嵌合...
  • 本发明公开了一种超表面同时实现彩色纳米印刷与彩色全息的方法及超表面,该方法包括:构建纳米砖阵列;获取彩色纳米印刷图像,根据不同尺寸参数的纳米砖结构单元所呈现的颜色,确定各位置处纳米砖结构单元中纳米砖的长轴和短轴;获取彩色全息图像,确定各位置...
  • 本发明涉及摄像技术领域,公开了一种全景相机及其组装方法。全景相机包括:壳体、前镜头、后镜头和安装板,壳体包括一沿光轴方向延伸的容纳腔,壳体上开设有贯穿其的第一镜头孔和支架孔,第一镜头孔和支架孔分别位于壳体沿光轴方向的两端。前镜头通过第一紧固...
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