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  • 在等离子处理装置中抑制样品脱离时向样品的异物附着。等离子处理装置具备:处理室,其配置于真空容器的内部,形成用于处理样品的等离子;和样品台,其配置于所述处理室内,在上表面载置并保持样品,在等离子处理装置中执行以下工序:第1工序,在样品的处理结...
  • 本发明提供粘合剂组合物等,其包含:通过加热或照射活性能量射线中的至少一方而产生酸的化合物;以及在分子中具有被保护基团保护的亲水基团且通过所述酸脱保护的被保护亲水基团、以及未被所述保护基团保护的非保护亲水基团的亲水性高分子化合物。
  • 本发明涉及一种装载锁定腔室、基板处理系统和基板处理方法,装载锁定腔室包括连接至储存基板的基板储存室和传送基板的传送腔室中的每一者的腔室本体、形成在基板储存室与腔室本体之间的第一闸阀、形成在腔室本体与传送腔室之间的第二闸阀以及将离子喷射至基板...
  • 本发明涉及一种用于干燥和/或清洗罐形空心体(12)、尤其是用于半导体晶片或用于EUV光刻掩模的运输容器的装置(10),其中,所述装置(10)具有清洗单元(44),所述清洗单元可通过空心体开口(24)被引入或引入到空心体内部(22)中,并且所...
  • 本文公开了一种基座加热器及含有所述基座加热器的处理腔室。在一个实例中,一种用于半导体基板处理的基座加热器包括加热器主体、顶盖及底盖。加热器主体包括至少一个加热组件。顶盖安置在加热器主体的顶表面上且具有比加热器主体更高的导热率。底盖安置在加热...
  • 面板收纳容器包括:容器本体,具有开口并收纳面板;支撑机构,设置于容器本体的内部并对面板进行支撑;以及盖体,将开口闭塞,容器本体包括一对侧壁,该一对侧壁划定用于收纳面板的收容空间并且在第一方向上相互相向,支撑机构包括支撑部,该支撑部在与第一方...
  • 提供一种精密基板收纳容器用固定套件,其能够与门套组的开闭联动地将精密基板收纳容器固定或解除固定,而且容易处理。是在将精密基板收纳容器(1)收纳于半导体晶圆收纳容器(10)并运输的情况下使用的套件,具备:适配器托盘(20),其搭载精密基板收纳...
  • 本发明的运送被运送物的运送装置包括收纳部、开口部、闸门、机械臂、第一连接器单元、驱动部和移动机构。收纳部收纳被运送物。开口部能够与处理基片的处理装置连接。闸门开闭开口部。机械臂配置在收纳部内,在前端具有末端执行器,经由开口部,与处理装置之间...
  • 一种用于高功率器件的散热封装基板,所述封装基板包括:芯,所述芯包括导电又导热的嵌块,所述嵌块配置成附接/连接到集成电路芯片/管芯,所述嵌块包括铜和难熔金属;其中所述铜与所述难熔金属之间的比率确定所述嵌块的热膨胀系数(CTE)的值和导热率(T...
  • 本发明提供一种树脂片,其涉及含有由呈板状、鳞片状或针状的一次粒子凝聚而成的填料的树脂片,并能提高热传导性。一种树脂片,其特征在于,通过面内X射线衍射法对树脂片进行测定而得到的树脂片中的填料的(002)面与(100)面的峰面积强度比Pi((0...
  • 本发明的目的在于提供一种抑制再布线工序时等的成品率降低、提高半导体装置的制造等中的成品率的半导体装置的制造方法。另外,本发明的目的在于提供能够抑制再布线工序时等的成品率降低的半导体装置制造用粘接片。此外,本发明的目的在于提供卷绕有该半导体装...
  • 本发明涉及一种接合用膜(1),该接合用膜(1)具备金属层(1b)、设置于金属层(1b)的一个表面的第一接合层(1a)、及设置于金属层(1b)的另一个表面的第二接合层(1a),金属层(1b)包含在温度300K下具有100W/m·K以上的热传导...
  • 本发明提供一种对人IgG特异性或选择性地具有结合性的肽。所述肽的特征在于,含有式I所示的由13~17个氨基酸残基构成的氨基酸序列,且可与人IgG结合:(X1-3)-C-(X2)-H-R-G-(Xaa1)-L-V-W-C-(X1-3),式中,...
  • 本发明公开了一种液体燃料非线性燃烧控制的方法,通过调节燃料与助燃气体的流量与频率,控制燃料流量与助燃气体流量呈连续波函数输入,使其呈非线性周期变化,以保证燃料高效雾化燃烧。本发明不仅能够通过变频耦合加剧炉内空气对流形成负压,使炉内温度更加均...
  • 本发明公开了一种便携式致敏花粉检测仪,其属于花粉检测技术领域,其包括安装壳,所述安装壳的内部设置有对花粉进行收集的间歇式花粉收集结构,在所述间歇式花粉收集结构上方的安装壳内部螺纹连接有压盖,花粉通过压盖进入到安装壳的内部,然后在通过间歇式花...
  • 本发明公开了一种氮气喷涂设备及方法,设备包括氮气供给机构和喷涂机构,喷涂机构与氮气供给机构的出气端连接,氮气供给机构用于生成并输送氮气至喷涂机构,氮气供给机构包括沿气体输送路径依次设置有空压机、水气分离器、冷干机、制氮机和固化炉,空压机用于...
  • 本发明提供了一种四线制交流转辙机全电子控制单元的供电相序检查方法,应用于数据处理技术领域。本申请通过控制单元内部高精度同步采集模块,以1ms/点频率同步采集ABC三相电压10ms。经有效性检查,若某相在零点阈值区间次数超9次则判定缺相并记录...
  • 本申请提供一种血气指标趋势失衡预警预测方法及系统。其中,收集患者的血气指标数据;利用模糊逻辑算法对血气指标数据进行综合评分,评估患者的酸碱平衡状态和氧合状态,以得到综合评分结果;根据综合评分结果,得到分类结果;确定分类结果包括警告或危急的患...
  • 本发明公开了一种耕宽与耕深协同调控式翻转犁,包括悬挂总成、主梁、耕宽调整机构、耕深调整机构和多个犁体过载保护快速复位单体,主梁与悬挂总成通过耕宽调整机构连接;耕深调整机构安装在主梁上;多个犁体过载保护快速复位单体安装在耕宽调整机构上且间隔排...
  • 本发明公开了农机镇压轮弹性缓冲防土壤压实装置,具体涉及农机镇压技术领域,包括镇压筒辊、多个槽框、错位模块、第一齿条以及第二齿条,镇压筒辊的内部沿其轴向分布有多个槽框;装置还包括:错位模块安装于各槽框的内部,错位模块上分别设置有第一齿条和第二...
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