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一种槽液转向装置
本实用新型属于槽液转向技术领域,尤其涉及一种槽液转向装置,包括棚体,所述棚体一端设置有硅烷药液箱和钝化药液箱,所述棚体侧壁固定安装有PLC控制器,所述棚体下方设置有硅烷药液回收箱和钝化药液回收箱,所述棚体底端固定套接有出液管,所述棚体包括转...
一种适用于透明导电膜制备的热蒸发镀膜装置
本发明公开了一种适用于透明导电膜制备的热蒸发镀膜装置,属于导电膜制备技术领域,通过设置移动螺杆、推送架、推送条、弧形架、推送滑槽、凹型卡块和坩埚,向两侧推动凹型卡块挤压固定弹簧一在安装滑座表面变形,托起坩埚使坩埚两侧的卡板卡入安装卡槽内部,...
一种适用于柔性基材的卷绕蒸发镀膜设备
本发明公开了一种适用于柔性基材的卷绕蒸发镀膜设备,属于真空镀膜技术领域,其包括底座,所述底座的上方固定连接有蒸发仓,所述蒸发仓的顶端固定连接有镀膜仓,所述镀膜仓的两侧分别固定连接有两个卷绕仓;本发明通过设置蒸发机构,两个蒸发机构在齿带的牵引...
基板架及镀膜装置
本实用新型提供一种基板架及镀膜装置,所述基板架用于装载基板,所述基板架包括:第一基板装载部,用于承载所述基板;第二基板装载部,间隔设置在所述第一基板装载部上方;第一连接部,用于连接所述第一基板装载部和所述第二基板装载部,所述第一连接部、所述...
抽真空方法及溅射镀膜方法
本发明提供了一种抽真空方法及溅射镀膜方法,抽真空方法包括以下步骤:将靶材安装在镀膜腔室中;使镀膜腔室与大气环境相互隔离,然后开启真空泵;将一板件传送至镀膜腔室中;将工作气体(Ar)通入镀膜腔室中,开启溅射电源,使镀膜腔室内形成第一电场,第一...
一种样品台系统
本发明公开了一种样品台系统,包括样品台和设于样品台中加热组件,所述加热组件包括多个加热线圈,各所述加热线圈沿样品台的中心向边缘方向依次环套布置,所述样品台的上表面设有多个呈环状的温度区域,各所述加热线圈与各所述温度区域一一对应设置。本发明具...
一种用于化学气相沉积的样品定位舟和化学气相沉积装置
本申请公开了一种用于化学气相沉积的样品定位舟和化学气相沉积装置。本申请的样品定位舟,包括至少一个坩埚仿形定位槽和若干个衬底仿形定位槽;坩埚仿形定位槽用于放置坩埚,衬底仿形定位槽用于放置衬底。本申请样品定位舟,能够对样品的空间位置进行定量化控...
一种便于快速更换镀膜材料的真空镀膜装置
本实用新型公开了一种便于快速更换镀膜材料的真空镀膜装置,涉及真空镀膜装置领域,包括支撑座、支撑杆和镀膜组件,所述支撑座的中心固定连接有支撑推杆,且支撑推杆的顶端固定连接有密封框,并且密封框的内部两侧设置有转动板。该一种便于快速更换镀膜材料的...
一种铬版版材高性能溅射镀膜设备的放气装置
本实用提出了一种铬版版材高性能溅射镀膜设备的放气装置,包括供气连接管;电磁阀门,所述电磁阀门通过螺钉安装在供气连接管的后端上;过滤器,所述过滤器通过螺钉安装在电磁阀门的后端上;供气组件,所述供气组件通过螺钉安装在过滤器的后端上。本实用第一布...
直立式化学气相渗透反应器
本实用新型公开了直立式化学气相渗透反应器,包括反应器本体;进气管,所述进气管连通设置于反应器本体底部;固定座,所述固定座固定设置于进气管内部,所述固定座上开设有进气通道,所述进气通道的侧壁上开设有安装槽;密封件,所述密封件包括环体,所述环体...
一种新型PVD冷却腔结构
本申请公开了一种新型PVD冷却腔结构,涉及半导体加工技术领域,本申请通过在冷却腔底板内嵌装冷却盘,该冷却盘冷却盘内部的蛇形冷却流道与均流腔、汇流腔一体成型,均流腔入口通过管路连接外部冷却介质供给单元,汇流腔出口连接回流单元,该冷却介质均匀分...
用于原子层沉积镀膜设备的控制系统及其方法和电子设备
本申请公开了一种用于原子层沉积镀膜设备的控制系统及其方法和电子设备。所述用于原子层沉积镀膜设备的控制系统有强大的数据采集、处理、显示和存储等功能;所述用于原子层沉积镀膜设备的控制系统能够自动化地控制和监测原子层沉积镀膜设备,提高原子层沉积镀...
一种基于辅助电源协同交流溅射电源的等离子体激发方法
本发明涉及一种基于辅助电源协同交流溅射电源的等离子体激发方法。其中,该方法包括:基于等离子体负载真空腔体接GND的安全设置,将第一交流电源输出端悬空,获取其输出的第一电压交流电压;通过电极激发工艺气体并采集该电源实时工作电流,判断等离子体初...
一种镀膜机通用退火装置
本发明公开了一种镀膜机通用退火装置,该退火装置包括流量控制器,气体恒温装置,气体过滤器,运动组件,温度参数控制部,加热部和气体管。本发明装置能根据不同镀膜机尺寸进行调整,安装并使用在镀膜机上,是一种能够安装于不同型号镀膜机的退火装置。利用本...
金属件及镀膜方法
本申请公开了一种金属件及镀膜方法,所述金属件包括金属基材、结合层、渐变层以及外层,所述结合层覆盖于所述金属基材的表面,所述渐变层包括依次层叠的第一功能层、第二功能层和第三功能层,所述第一功能层覆盖所述结合层背离所述金属基材的表面,所述第二功...
一种保压装置
本实用新型属于物理气相沉积技术领域,公开了一种保压装置。其中包括U型液位计,U型液位计内安装有U型管,U型管内灌装有液体,U型管两侧端口分别与第一管路和第二管路连通,第一管路与第二管路相互连通,第一管路上外接有第三管路,第三管路上安装有三号...
一种化学气相渗透用反应炉
本实用新型公开了一种化学气相渗透用反应炉,包括:炉体;进气管,固定插接于所述炉体底部;密封组件,所述密封组件包括固定设置于所述进气管内部的固定块、开设于固定块中心位置处的贯穿孔、多组环绕于所述固定块内部的安装槽以及设置于所述安装槽内的弹性件...
一种ZrCu改性CVD-SiC抗烧蚀涂层及其制备方法
本发明公开了一种ZrCu改性CVD‑SiC抗烧蚀涂层及其制备方法,属于烧蚀防护涂层技术领域。本发明公开的制备方法,通过熔盐反应即可将Zr和Cu元素引入SiC涂层,在涂层内部形成Zr‑Si‑Cu镶嵌结构,形成致密度较高,成分分布较均匀的ZrC...
一种海上风机导管架基础外加电流阴极保护自动化调节装置及方法
本发明公开了一种海上风机导管架基础外加电流阴极保护自动化调节装置及方法,所述装置包括辅助阳极系统、电动滑轨、控制器;所述辅助阳极系统包括辅助阳极单元、支撑绳、螺旋弹簧、圆环固定装置;所述电动滑轨包括直线导轨、滑块、第一辅助杆件、第二辅助杆件...
一种吊臂伸缩机构
本发明涉及一种吊臂伸缩机构,包括固定节臂、滑动节臂、顶推机构和主动锁定机构。滑动节臂插入固定节臂内,其末端装有被动锁定机构,用于锁定在固定节臂的特定工位上。顶推机构的主丝杠驱动主螺母前后移动,主动锁定机构集成于主螺母上,其连接单元和拨叉单元...
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