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龙图腾网获悉河北中科微电子有限公司申请的专利一种晶圆背面清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224234122U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520752777.7，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种晶圆背面清洗装置是由赵文涛设计研发完成，并于2025-04-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆背面清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆背面清洗装置，包括安装台，安装台上包括正反面清洗机构、防水护罩机构、甩干机构；所述正反面清洗机构包括进水管，所述进水管的一端固定连接有三通头，所述三通头的另外两端分别固定连接有上面出液管和背面出液管，所述上面出液管的一端固定连接有清洗喷头，所述清洗喷头通过摆臂机构连接在安装台上；所述防护护罩机构包括内防水护罩，所述内防水护罩固定连接在安装台的上侧，所述内防水护罩上套设有外防水护罩。本实用新型通过对圆晶片的正反两面同时进行清洗，更彻底地去除圆晶片表面的污染物，包括背面的金属颗粒和有机物，提供更高的清洗效果和更好的产品质量。

本实用新型一种晶圆背面清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆背面清洗装置，包括安装台1，其特征在于，安装台1上包括正反面清洗机构、防水护罩机构、甩干机构； 所述正反面清洗机构包括进水管9，所述进水管9的一端固定连接有三通头10，所述三通头10的另外两端分别固定连接有上面出液管11和背面出液管6，所述上面出液管11的一端固定连接有清洗喷头14，所述清洗喷头14通过摆臂机构连接在安装台1上； 所述防水护罩机构包括内防水护罩3，所述内防水护罩3固定连接在安装台1的上侧，所述内防水护罩3上套设有外防水护罩2； 所述甩干机构包括甩干电机20，所述甩干电机20固定连接在安装台1的底侧壁上，所述甩干电机20的输出轴固定连接有电机连接筒轴18，所述内防水护罩3的中央呈通管状设置，所述电机连接筒轴18贯穿内防水护罩3的通管状中央，所述电机连接筒轴18的上端固定连接有圆晶甩干头19，所述圆晶甩干头19上设置晶片放置机构，所述背面出液管6的一端依次贯穿甩干电机20空心轴、电机连接筒轴18、圆晶甩干头19的侧壁，并与清洗喷头14位置上下对应。

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