浙江创芯集成电路有限公司孙永康获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉浙江创芯集成电路有限公司申请的专利一种研磨垫及研磨系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224223577U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521183964.4，技术领域涉及：B24B37/26；该实用新型一种研磨垫及研磨系统是由孙永康;夏汇哲;臧志城;王斌超;张俊铠设计研发完成，并于2025-06-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种研磨垫及研磨系统在说明书摘要公布了：本申请实施例提供了一种研磨垫及研磨系统，所述研磨垫，包括：相对的上表面和下表面，所述上表面用于研磨待研磨器件，所述下表面用于固定所述研磨垫至预设位置，其中，所述上表面内设置有多个研磨沟槽；设置于至少一个所述研磨沟槽内的红外线传感器，所述红外线传感器环绕所述研磨垫的有效研磨区；所述红外线传感器包括交替排列的红外线发射单元和红外线接收单元；其中，所述红外线发射单元用于发射红外线，所述红外线接收单元用于接收反射回来的红外线；与所述红外线传感器电连接的处理单元，所述处理单元用于接收所述红外线传感器的感应信号，并基于所述感应信号确定所述上表面是否存在研磨液残留液。本申请实施例能够提高研磨垫的研磨效果。
本实用新型一种研磨垫及研磨系统在权利要求书中公布了：1.一种研磨垫，其特征在于，包括： 相对的上表面和下表面，所述上表面用于研磨待研磨器件，所述下表面用于固定所述研磨垫至预设位置，其中，所述上表面内设置有多个研磨沟槽； 设置于至少一个所述研磨沟槽内的红外线传感器，所述红外线传感器环绕所述研磨垫的有效研磨区；所述红外线传感器包括交替排列的红外线发射单元和红外线接收单元；其中，所述红外线发射单元用于发射红外线，所述红外线接收单元用于接收反射回来的红外线； 与所述红外线传感器电连接的处理单元，所述处理单元用于接收所述红外线传感器的感应信号，并基于所述感应信号确定所述上表面是否存在研磨液残留液。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人浙江创芯集成电路有限公司，其通讯地址为：311200 浙江省杭州市萧山区宁围街道平澜路2118号浙江大学杭州国际科创中心水博园区11幢4层-5层(自主申报)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励