成都隽晖自动化设备有限公司张醒波获国家专利权
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龙图腾网获悉成都隽晖自动化设备有限公司申请的专利一种半导体硅片的双面研磨设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224223575U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521211573.9，技术领域涉及：B24B37/08；该实用新型一种半导体硅片的双面研磨设备是由张醒波设计研发完成，并于2025-06-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体硅片的双面研磨设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种半导体硅片的双面研磨设备，包括底板，所述底板的上表面固定连接有固定架，所述固定架的内部安装有研磨机构，所述研磨机构包括通孔，所述固定架的上表面安装有气缸，所述气缸的输出端安装有压力传感器，所述压力传感器的底面固定连接有固定板，所述固定板的底面固定连接有等距离排列的缓冲弹簧，所述固定板的底面固定连接有阻尼器，每个所述缓冲弹簧的底端共同固定连接有第一研磨电机，所述第一研磨电机的输出端安装有上研磨盘。本装置通过缓冲弹簧和阻尼器的配合，能够对上研磨盘进行缓冲，利用压力传感器能够对研磨的压力进行实时监测，避免对硅片造成过度研磨，提高半导体硅片的加工质量。
本实用新型一种半导体硅片的双面研磨设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体硅片的双面研磨设备，其特征在于：包括底板1，所述底板1的上表面固定连接有固定架3，所述固定架3的内部安装有研磨机构2，所述研磨机构2包括通孔201，所述固定架3的上表面安装有气缸202，所述气缸202的输出端安装有压力传感器203，所述压力传感器203的底面固定连接有固定板204，所述固定板204的底面固定连接有等距离排列的缓冲弹簧205，所述固定板204的底面固定连接有阻尼器208，每个所述缓冲弹簧205的底端共同固定连接有第一研磨电机206，所述第一研磨电机206的输出端安装有上研磨盘207。
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