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龙图腾网获悉合肥晶合集成电路股份有限公司申请的专利机台传感器分级方法和基于传感器数据的机台管控方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121542897B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610069832.1，技术领域涉及：G06F18/2415；该发明授权机台传感器分级方法和基于传感器数据的机台管控方法是由王思民;孙姗姗;谭柳娟;徐东东设计研发完成，并于2026-01-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本机台传感器分级方法和基于传感器数据的机台管控方法在说明书摘要公布了：本发明涉及生产设备管控技术领域，特别是涉及一种机台传感器分级方法和基于传感器数据的机台管控方法，机台传感器分级方法包括：根据历史FDC数据中各传感器的数据构建其历史数据Trace；构建数据Trace的异常判定规则，基于构建的所述异常判定规则判定各传感器的实时数据Trace是否异常，得到第一判定结果并进行存档；判断各传感器的第一判定结果和相应产品品质数据之间的相关性，并基于相关性对各传感器进行分级，得到各传感器的对应级别。本发明中，根据FDC数据中的传感器原始数据对各传感器进行分级，不会丢失原始数据中的关键信息，分级结果更加准确，便于根据分级结果进行机台管控。

本发明授权机台传感器分级方法和基于传感器数据的机台管控方法在权利要求书中公布了：1.一种机台传感器分级方法，其特征在于，包括以下步骤： 获取机台的历史FDC数据； 根据历史FDC数据中各传感器的数据构建其历史数据Trace； 构建数据Trace的异常判定规则； 获取机台各个传感器的实时采集数据，并基于所述实时采集数据构建各个传感器的实时数据Trace; 基于构建的所述异常判定规则判定各传感器的实时数据Trace是否异常，得到各传感器的第一判定结果，并进行存档； 当存档的第一判定结果达到预定数量时，判断各传感器的所述第一判定结果和相应产品品质数据之间的相关性，并基于所述相关性对各传感器进行分级，得到各传感器的对应级别； 所述数据Trace包括非振动曲线，所述异常判定规则包括与非振动曲线对应的第一异常判定规则；所述第一异常判定规则被配置为： 分别计算待判定的非振动曲线与预先构建的第一基线库中对应数据集合内部的各个类的相似度，如果与各个类的相似度均小于对应的相似度阈值，则标记该待判定的非振动曲线的数据异常；否则，标记该待判定的非振动曲线的数据正常。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人合肥晶合集成电路股份有限公司，其通讯地址为：230012 安徽省合肥市新站区合肥综合保税区内西淝河路88号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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