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北京中科科仪光电科技有限公司张晓磊获国家专利权

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龙图腾网获悉北京中科科仪光电科技有限公司申请的专利一种用于聚焦离子束-电子束双束显微镜的气体枪获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121483949B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511580431.4,技术领域涉及:H01J37/317;该发明授权一种用于聚焦离子束-电子束双束显微镜的气体枪是由张晓磊;赵博阳;孟祥良;田贵宾;王宁设计研发完成,并于2025-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。

一种用于聚焦离子束-电子束双束显微镜的气体枪在说明书摘要公布了:本发明公开了一种用于聚焦离子束‑电子束双束显微镜的气体枪,涉及半导体工业及材料的微纳米加工技术领域,包括:行程调节组件、气体调速组件、行程调节套管、调速驱动杆、坩埚和导热转接座,所述行程调节组件的第一滑动件与所述气体调速组件和所述行程调节套管连接,所述气体调速组件的第二滑动件与所述调速驱动杆连接;所述坩埚与所述行程调节套管连接,所述坩埚的内部具有用于存储固态材料的容纳空间,所述容纳空间具有气体出口,所述坩埚内具有与所述气体出口密封配合的探针,所述探针与所述调速驱动杆连接;导热转接座,与所述坩埚连接,所述导热转接座上连接有加热装置,本发明技术方案,有效解决了现有气体枪调节精度欠佳的问题。

本发明授权一种用于聚焦离子束-电子束双束显微镜的气体枪在权利要求书中公布了:1.一种用于聚焦离子束-电子束双束显微镜的气体枪,其特征在于,包括: 行程调节组件1,具有第一壳体101和第一滑动件102,所述第一滑动件102在驱动作用下,于所述第一壳体101内进行滑动移动; 气体调速组件2,具有第二壳体201和第二滑动件202,所述第二壳体201与所述第一滑动件102固定连接,所述第二滑动件202在驱动作用下,于所述第二壳体201内进行滑动移动; 行程调节套管5,一端与所述第一滑动件102固定连接,另一端朝向远端伸出所述第一滑动件102; 调速驱动杆6,滑动设置在所述行程调节套管5内,第一端与所述第二滑动件202连接,第二端伸出所述行程调节套管5; 坩埚3,与所述行程调节套管5连接,所述坩埚3的内部具有用于存储固态材料的容纳空间,所述容纳空间具有气体出口301,所述坩埚3内具有与所述气体出口301密封配合的探针302,所述探针302与所述调速驱动杆6连接; 导热转接座4,与所述坩埚3连接,所述导热转接座4上连接有加热装置。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人北京中科科仪光电科技有限公司,其通讯地址为:100176 北京市大兴区北京经济技术开发区融兴北一街6号院1号楼2层101-203;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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