旭化成株式会社樱井隆觉获国家专利权
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龙图腾网获悉旭化成株式会社申请的专利感光性树脂层叠体和抗蚀图案的形成方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114114841B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111009525.8，技术领域涉及：G03F7/09；该发明授权感光性树脂层叠体和抗蚀图案的形成方法是由樱井隆觉设计研发完成，并于2021-08-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本感光性树脂层叠体和抗蚀图案的形成方法在说明书摘要公布了：一种感光性树脂层叠体和抗蚀图案的形成方法。其课题在于，提供最小显影时间、分辨率、侧蚀SE量、对比度和渗出性中的至少一者优异的感光性树脂层叠体。一种感光性树脂层叠体，其特征在于，其具有支承体和使用感光性树脂组合物在前述支承体上形成的感光性树脂组合物层，所述感光性树脂组合物包含以下的成分：A碱溶性树脂、B具有烯属不饱和键的光聚合性化合物、C光聚合引发剂、D光波长550～700nm的吸光度增大的化合物和E有机显色剂，感光性树脂组合物层的膜厚超过0且为10μm以下。
本发明授权感光性树脂层叠体和抗蚀图案的形成方法在权利要求书中公布了：1.一种感光性树脂层叠体，其特征在于，其具有： 支承体；以及 使用感光性树脂组合物在所述支承体上形成的感光性树脂组合物层， 所述感光性树脂组合物包含以下的成分： A碱溶性树脂、 B具有烯属不饱和键的光聚合性化合物、 C光聚合引发剂、 D光波长550～700nm的吸光度增大的化合物、以及 E有机显色剂， 所述感光性树脂组合物层的膜厚超过0且为10μm以下， 所述E有机显色剂为通过光照射而能够产生酸的光产酸剂，且为选自由肟磺酸酯化合物、三芳基锍盐类组成的组中的至少任一种化合物。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人旭化成株式会社，其通讯地址为：日本东京都；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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