苏州汉天下电子有限公司吴明获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州汉天下电子有限公司申请的专利滤波器的制备方法、滤波器和双工器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113872548B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111139235.5，技术领域涉及：H03H3/02；该发明授权滤波器的制备方法、滤波器和双工器是由吴明;唐兆云;杨清华设计研发完成，并于2021-09-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本滤波器的制备方法、滤波器和双工器在说明书摘要公布了：本发明实施例公开了一种滤波器的制备方法、滤波器和双工器，通过在第一保护衬底的一侧和或第二保护衬底的一侧形成至少一层谐振器层，以使第一保护衬底与第二保护衬底之间形成沿滤波器厚度方向设置的至少两层谐振器层，至少两层谐振器层中的相对应的设定膜层的厚度不同，设定膜层为下电极层、上电极层、压电层中的至少一者。本发明技术方案，使得通过控制不同谐振器层沉积的设定膜层的厚度即可实现对质量负载层厚度的控制，以及通过测量不同谐振器层的设定膜层的厚度来计算出厚度差即可测量出质量负载层的厚度，因此可以精确控制和测量质量负载层的厚度，有利于对谐振器层的精确调频，进而可以精确控制滤波器的频率。
本发明授权滤波器的制备方法、滤波器和双工器在权利要求书中公布了：1.一种滤波器的制备方法，其特征在于，包括： 提供第一保护衬底和第二保护衬底； 在所述第一保护衬底的一侧和或所述第二保护衬底的一侧形成至少一层谐振器层； 在所述滤波器厚度方向连接所述第一保护衬底和所述第二保护衬底，以使所述第一保护衬底与所述第二保护衬底之间形成沿所述滤波器厚度方向设置的至少两层谐振器层； 其中，所述谐振器层包括层叠设置的下电极层、压电层、上电极层，至少两层谐振器层中的相对应的设定膜层的厚度不同，所述设定膜层为所述下电极层、所述上电极层、所述压电层中的至少一者； 其中，谐振器层包括多个谐振器，同一谐振器层的各谐振器的相同膜层的厚度相同；不同谐振器层的各谐振器的对应膜层之一的厚度不相同；根据控制不同谐振器层的上电极层、下电极层、压电层中至少一者的厚度可控制质量负载层的厚度，以对每层谐振器单独进行精确修频。
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