苏州联讯仪器股份有限公司王勇获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州联讯仪器股份有限公司申请的专利一种晶圆中转机构及自动化对位中转系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224218790U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520591099.0，技术领域涉及：H10P72/50；该实用新型一种晶圆中转机构及自动化对位中转系统是由王勇;唐仁伟;谢智寅设计研发完成，并于2025-03-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆中转机构及自动化对位中转系统在说明书摘要公布了：本申请涉及一种晶圆中转机构及自动化对位中转系统，包括基板、对位板和环形转台；所述基板用于沿第一方向与底部机架滑动连接；所述对位板设于所述基板上方，并与所述基板沿第二方向相对滑动连接；所述环形转台，设于所述对位板中部，且与所述对位板相对转动连接；所述环形转台上设置有用于吸附晶圆的吸附组件，所述吸附组件包括多个吸嘴，其中至少与晶圆切边位置相对应的所述吸嘴可独立控制开断。本申请晶圆中转机构及自动化对位中转系统实现了在多方向对晶圆位置的灵活调整，可灵活适应具有不同切边朝向的晶圆，能够满足晶圆在上料、转移过程中复杂的对位需求，提高了晶圆转移的精度。
本实用新型一种晶圆中转机构及自动化对位中转系统在权利要求书中公布了：1.一种晶圆中转机构，其特征在于，包括基板、对位板和环形转台； 所述基板用于沿第一方向与底部机架滑动连接；所述对位板设于所述基板上方，并与所述基板沿第二方向相对滑动连接；所述环形转台设于所述对位板中部，且与所述对位板相对转动连接； 所述环形转台上设置有用于吸附晶圆的吸附组件，所述吸附组件包括多个吸嘴，其中至少与晶圆切边位置相对应的所述吸嘴可独立控制开断。
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