长鑫存储技术有限公司王东获国家专利权
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龙图腾网获悉长鑫存储技术有限公司申请的专利法拉第杯组件、离子注入装置及其使用方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112053928B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201910485014.X，技术领域涉及：H01J37/244；该发明授权法拉第杯组件、离子注入装置及其使用方法是由王东设计研发完成，并于2019-06-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本法拉第杯组件、离子注入装置及其使用方法在说明书摘要公布了：本公开提供一种法拉第杯组件、离子注入装置及其使用方法，涉及半导体技术领域。该法拉第杯组件包括基座、法拉第杯、保护环和多个连接件。基座具有一设有安装槽的安装面，安装槽的底面设有至少一个安装孔；法拉第杯呈圆环状且设于安装槽的底面，法拉第杯设有沿周向延伸的圆环形的杯腔，杯腔具有朝向安装槽顶部的开放端，杯腔底部设有多个沿周向均匀分布的固定孔；保护环设于安装面且遮蔽安装槽，保护环在开放端的投影覆盖杯腔，保护环设有多个周向分布的圆弧形的狭缝，狭缝和固定孔满足以下条件：其中，n为狭缝的数量，c为狭缝所处圆周的周长，L为狭缝的弧长，m为固定孔的数量。连接件可拆卸地连接于安装孔，且穿过与安装孔正对的固定孔。
本发明授权法拉第杯组件、离子注入装置及其使用方法在权利要求书中公布了：1.一种法拉第杯组件，其特征在于，包括： 基座，所述基座具有一安装面，所述安装面设有安装槽，所述安装槽的底面设有至少一个安装孔； 法拉第杯，呈圆环状，且设于所述安装槽的底面，所述法拉第杯设有沿周向延伸的圆环形的杯腔，所述杯腔具有朝向所述安装槽顶部的开放端，所述杯腔底部设有多个沿周向均匀分布的固定孔，每个所述安装孔与一个所述固定孔正对； 保护环，设于所述安装面且遮蔽所述安装槽，并与所述法拉第杯同轴设置，所述保护环在所述开放端的投影覆盖所述杯腔，所述保护环设有多个周向均匀分布的圆弧形的狭缝，所述狭缝与所述杯腔连通，所述狭缝和所述固定孔满足以下条件： 其中，n为所述狭缝的数量，c为所述狭缝所处圆周的周长，L为所述狭缝的弧长，m为所述固定孔的数量； 连接件，可拆卸地连接于所述安装孔，且穿过与所述安装孔正对的固定孔。
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