江苏多维科技有限公司詹姆斯·G·迪克获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏多维科技有限公司申请的专利一种用于激光退火的磁电阻传感器层结构获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114447213B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210106771.3,技术领域涉及:H10N50/80;该发明授权一种用于激光退火的磁电阻传感器层结构是由詹姆斯·G·迪克;周志敏设计研发完成,并于2022-01-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于激光退火的磁电阻传感器层结构在说明书摘要公布了:本发明实施例公开了一种用于激光退火的磁电阻传感器层结构,包括:衬底;位于衬底上的磁阻传感单元,磁阻传感单元中包括反铁磁钉扎层或者永磁偏置层;位于磁阻传感单元上方的顶吸热层和或位于磁阻传感单元下方的底吸热层,顶吸热层的体积*比热*密度的乘积大于顶电极层的体积*比热*密度的乘积,底吸热层的体积*比热*密度的乘积大于底电极层的体积*比热*密度的乘积,当反铁磁钉扎层或者永磁偏置层的写入温度高于各自对应的阻塞温度或者居里温度时,底电极层和顶电极层的温度均低于各自对应的熔点温度;激光吸收层和激光透明层。本发明实施例可解决电极层易烧蚀问题。
本发明授权一种用于激光退火的磁电阻传感器层结构在权利要求书中公布了:1.一种用于激光退火的磁电阻传感器层结构,其特征在于,包括: 衬底; 位于所述衬底上的磁阻传感单元,所述磁阻传感单元自下而上依次包括种子层、底电极层、磁敏单元堆叠层和顶电极层,所述磁敏单元堆叠层至少包括反铁磁钉扎层或者永磁偏置层; 位于所述磁阻传感单元上方的顶吸热层和或位于所述磁阻传感单元下方的底吸热层,所述顶吸热层的体积比热密度的乘积大于所述顶电极层的体积比热密度的乘积,所述底吸热层的体积比热密度的乘积大于所述底电极层的体积比热密度的乘积,当所述反铁磁钉扎层或者永磁偏置层的写入温度高于各自对应的阻塞温度或者居里温度时,所述底电极层和所述顶电极层的温度均低于各自对应的熔点温度; 激光吸收层,所述激光吸收层位于所述磁阻传感单元的上方; 激光透明层,所述激光透明层位于所述激光吸收层的上方; 沿自下而上的方向上,所述顶吸热层覆盖所述顶电极层和所述底电极层,所述顶吸热层与所述顶电极层之间电隔离;所述顶吸热层包括第一区域和第二区域,所述第一区域与所述底电极层交叠且不与所述顶电极层交叠,所述第二区域与所述顶电极层交叠,所述顶吸热层与所述顶电极层之间填充有绝缘材料,所述第一区域和所述第二区域之间电接触;所述顶吸热层还包括第三区域,所述第三区域分别与所述顶电极层和所述底电极层都不交叠,所述第三区域分别与所述第一区域和所述第二区域电接触; 或者,沿自下而上的方向上,所述顶吸热层覆盖所述顶电极层和所述底电极层,所述顶吸热层与所述顶电极层之间电接触;所述顶吸热层包括第一区域和第二区域,所述第一区域与所述底电极层交叠且不与所述顶电极层交叠,所述第二区域与所述顶电极层交叠,所述第一区域和所述第二区域之间电隔离。
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