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东京毅力科创株式会社宇都宫由典获国家专利权

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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利处理液供给装置、通知方法以及存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114373695B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111170485.5,技术领域涉及:H10P72/00;该发明授权处理液供给装置、通知方法以及存储介质是由宇都宫由典设计研发完成,并于2021-10-08向国家知识产权局提交的专利申请。

处理液供给装置、通知方法以及存储介质在说明书摘要公布了:提供一种处理液供给装置、通知方法以及存储介质。在处理液供给装置中的处理液的贮存容器更换时,以更换作业中的作业者能够立即视觉辨认的方式通知更换后的贮存容器是否适当。处理液供给装置对使用处理液处理基板的基板处理装置供给处理液,具备:收容部,其具有多个分区,各分区被从一侧面侧设置贮存有处理液的贮存容器;获取部,针对分区分别设置获取部,获取部从附在设置于对应的分区的贮存容器的侧面的识别信息保持部获取该贮存容器的识别信息;以及通知部,针对分区分别设置通知部,通知部基于对应的分区的获取部的获取结果,以发光元件的发光状态来通知该分区中的贮存容器的设置状态,其中,通知部的发光元件向一侧面侧发光。

本发明授权处理液供给装置、通知方法以及存储介质在权利要求书中公布了:1.一种处理液供给装置,对使用处理液来处理基板的基板处理装置供给处理液,该处理液供给装置的特征在于,具备: 收容部,其具有多个分区,各分区被从一侧面侧设置贮存有处理液的贮存容器; 获取部,针对所述分区分别设置所述获取部,所述获取部从附在设置于对应的所述分区的所述贮存容器的侧面的识别信息保持部获取该贮存容器的识别信息;以及 通知部,针对所述分区分别设置所述通知部,所述通知部基于对应的所述分区的所述获取部的获取结果,以发光元件的发光状态来通知该分区中的所述贮存容器的设置状态, 其中,所述通知部的所述发光元件朝向所述一侧面侧发光, 所述收容部具有第一设置台以及第二设置台,所述第一设置台以及所述第二设置台分别具有所述分区, 所述获取部具有针对所述第一设置台设置的第一获取部和针对所述第二设置台设置的第二获取部, 所述通知部具有针对所述第一设置台设置的第一通知部和针对所述第二设置台设置的第二通知部, 所述第二设置台位于比所述第一设置台低的位置, 以所述第一设置台的高度位置为基准的所述第一通知部的高度位置比以所述第二设置台的高度位置为基准的所述第二通知部的高度位置低。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人东京毅力科创株式会社,其通讯地址为:日本东京都;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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