凯斯科技股份有限公司蔡熙成获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉凯斯科技股份有限公司申请的专利基板工艺系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114290126B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111171332.2，技术领域涉及：B24B1/00；该发明授权基板工艺系统是由蔡熙成;李承恩;尹勤植设计研发完成，并于2021-10-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板工艺系统在说明书摘要公布了：根据一个实施例的基板工艺系统可以包括：前端模块；第一工艺线，其包括第一研磨线及第一清洗线；第二工艺线，其包括第二研磨线及第二清洗线，和第一工艺线并列配置；第一工作台，其位于第一清洗线及第二清洗线之间；第一搬运机器人，其将基板从前端模块移送至第一工作台；第二工作台，其位于第一研磨线及第二研磨线之间；第二搬运机器人，其在第一清洗线、第二清洗线、第一工作台及第二工作台中至少任意两个位置之间对基板进行移送。
本发明授权基板工艺系统在权利要求书中公布了：1.一种基板工艺系统，其特征在于，包括： 前端模块； 第一工艺线，其包括第一研磨线及第一清洗线； 第二工艺线，其包括第二研磨线及第二清洗线，和第一工艺线并列配置； 第一工作台，其位于第一清洗线及第二清洗线之间； 第一搬运机器人，其将基板从前端模块移送至第一工作台； 第二工作台，其位于第一研磨线及第二研磨线之间； 第二搬运机器人，其在第一清洗线、第二清洗线、第一工作台及第二工作台中至少任意两个位置之间对基板进行移送； 第一旋转部，其根据旋转以圆形形成第一移送轨道，在第一移送位置、第二移送位置及第三移送位置之间对基板进行移送； 第二旋转部，其根据旋转以圆形形成第二移送轨道，在第二移送位置及第一研磨位置之间对基板进行移送； 第三旋转部，其根据旋转以圆形形成第三移送轨道，在第三移送位置及第二研磨位置之间对基板进行移送； 其中，第二旋转部具有两个第一载体头，在一个第一载体头对一个基板进行研磨的期间，另一个第一载体头对另一个基板进行装载或卸除，第三旋转部具有两个第二载体头，在一个第二载体头对一个基板进行研磨的期间，另一个第二载体头对另一个基板进行装载或卸除。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人凯斯科技股份有限公司，其通讯地址为：韩国京畿道安城市；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励