嘉柏微电子材料股份公司K.P.多克里获国家专利权
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龙图腾网获悉嘉柏微电子材料股份公司申请的专利用于钨化学机械抛光的组合物获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111094481B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201880059978.1，技术领域涉及：C09G1/02；该发明授权用于钨化学机械抛光的组合物是由K.P.多克里;T.卡特;M.E.卡恩斯;J.范库伊肯;P.辛格设计研发完成，并于2018-09-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于钨化学机械抛光的组合物在说明书摘要公布了：用于抛光具有钨层的基板的化学机械抛光组合物，其包括基于水的液体载剂、分散于该液体载剂中的研磨剂颗粒、含铁的促进剂及具有氨基酸单体的阳离子型聚合物。用于化学机械抛光包括钨层的基板的方法，其包括使该基板与上述抛光组合物接触、相对于该基板移动该抛光组合物、及研磨该基板以自该基板移除一部分该钨并由此抛光该基板。
本发明授权用于钨化学机械抛光的组合物在权利要求书中公布了：1.化学机械抛光组合物，包含： 基于水的液体载剂； 分散于该液体载剂中的研磨剂颗粒， 含铁的促进剂；及 具有氨基酸单体单元的阳离子型聚合物， 其中该研磨剂颗粒包含具有至少10mV的永久性正电荷的胶体氧化硅研磨剂；和 其中该阳离子型聚合物具有大于5的酸离解常数，和 其中该阳离子型聚合物是-聚-L-赖氨酸。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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