武汉精立电子技术有限公司;武汉精测电子集团股份有限公司汪洋获国家专利权
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龙图腾网获悉武汉精立电子技术有限公司;武汉精测电子集团股份有限公司申请的专利一种用于多尺寸的晶圆传片装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224165099U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202521159880.7,技术领域涉及:H10P72/30;该实用新型一种用于多尺寸的晶圆传片装置是由汪洋;王进文;欧昌东设计研发完成,并于2025-06-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于多尺寸的晶圆传片装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种用于多尺寸的晶圆传片装置,属于晶圆测试领域。晶圆传片装置包括支撑组件和传片组件;支撑组件包括箱体、支撑板、滑板和活动板,支撑板设置在箱体的外壁上,箱体上具有操作口,滑板沿朝向或者远离操作口的方向可滑动地布置在支撑板上,活动板可拆卸地安装在滑板上;传片组件包括机械手和寻边器,寻边器位于箱体内,机械手用于将晶圆料盒中晶圆转运至寻边器上、将晶圆从寻边器转运至检测设备,以及将晶圆从检测设备转运至对应的晶圆料盒中。本实用新型实施例提供的一种用于多尺寸的晶圆传片装置,不仅可以兼容不同尺寸的晶圆料盒及晶圆输送,还能在转运过程中精准校准晶圆位置,保证其精准抓取后转运至检测设备。
本实用新型一种用于多尺寸的晶圆传片装置在权利要求书中公布了:1.一种用于多尺寸的晶圆传片装置,其特征在于,所述晶圆传片装置包括支撑组件和传片组件; 所述支撑组件包括箱体、支撑板、滑板和活动板,所述支撑板设置在所述箱体的外壁上,所述箱体上具有操作口,所述滑板沿朝向或者远离所述操作口的方向可滑动地布置在所述支撑板上,所述活动板可拆卸地安装在所述滑板上,所述滑板和所述活动板分别用于支撑和定位不同尺寸的晶圆料盒; 所述传片组件包括机械手和寻边器,所述寻边器位于所述箱体内,所述机械手用于将晶圆料盒中晶圆转运至所述寻边器上、将晶圆从所述寻边器转运至检测设备,以及将晶圆从检测设备转运至对应的晶圆料盒中,所述寻边器用于检查出晶圆的轮廓中心后带动晶圆在X方向移动和Y方向移动。
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