上海聚克流体控制有限公司宋海晓获国家专利权
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龙图腾网获悉上海聚克流体控制有限公司申请的专利双Q表强化学习与动态注意力结合的半导体阀门分析系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121706040B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202610217034.9,技术领域涉及:G06F18/25;该发明授权双Q表强化学习与动态注意力结合的半导体阀门分析系统是由宋海晓;薛辉设计研发完成,并于2026-02-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本双Q表强化学习与动态注意力结合的半导体阀门分析系统在说明书摘要公布了:本发明公开了双Q表强化学习与动态注意力结合的半导体阀门分析系统,涉及半导体阀门性能分析技术领域,包括主气路稳压模块用于将输入气源压力调节并稳定至一级设定压力;并行多测试支路模块包含独立测试支路;中央控制与数据采集单元采集高精度传感单元及精密流量控制单元的多维时序观测数据;数据预处理模块,用于对多维时序观测数据进行异常值检测、滤波、归一化处理;自适应状态表征模块用于从预处理后的多维时序观测数据中动态提取与当前决策任务相关的状态特征向量;强化学习决策与优化模块根据状态特征向量输出对物理测试平台的最优控制动作。本发明提升了测试效率与深度,确保了过程的稳定性与结果的可信度。
本发明授权双Q表强化学习与动态注意力结合的半导体阀门分析系统在权利要求书中公布了:1.双Q表强化学习与动态注意力结合的半导体阀门分析系统,其特征在于,包括主气路稳压模块,并行多测试支路模块,中央控制与数据采集单元,数据预处理模块,自适应状态表征模块,强化学习决策与优化模块,人机交互与可视化模块,模块之间存在连接: 主气路稳压模块,用于将输入气源压力调节至一级设定压力; 并行多测试支路模块,用于将每条测试支路串联二次调压单元、精密流量控制单元以及高精度传感单元; 中央控制与数据采集单元,用于接收控制指令以驱动各调节单元,并同步采集所述高精度传感单元及精密流量控制单元的多维时序观测数据; 数据预处理模块,用于对采集到的多维时序观测数据进行异常值检测、滤波、归一化处理; 自适应状态表征模块,接收数据预处理模块输出的标准化多维时序观测数据,采用基于动态注意力机制的神经网络模型自动计算各观测参数及不同时间戳数据的注意力权重过程如下:模块内置并采用基于动态注意力机制的神经网络模型,通过模型内置的动态注意力机制,对输入的标准化多维时序观测数据进行空间注意力权重以及时序注意力权重计算,将空间与时序注意力权重融合,得到联合注意力权重; 动态聚焦与当前决策任务相关的核心特征,提取并输出表征气路测试系统当前运行状态的状态特征向量; 强化学习决策与优化模块,基于双Q表强化学习模型并融合自适应优先经验回放机制,根据所述状态特征向量输出最优控制动作; 人机交互与可视化模块,用于展示系统运行状态、注意力权重分布、学习过程及优化结果。
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