芯核半导体科技(江苏)有限公司金炯敏获国家专利权
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龙图腾网获悉芯核半导体科技(江苏)有限公司申请的专利一种加热管结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224154368U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520807464.7,技术领域涉及:H05B3/02;该实用新型一种加热管结构是由金炯敏;赵贵龙;李承珍设计研发完成,并于2025-04-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种加热管结构在说明书摘要公布了:本实用新型涉及半导体制造设备技术领域,公开了一种加热管结构,包括:引线脚和设置在金属保护管内的发热元件,金属保护管内填充有电气绝缘粉末,引线脚与发热元件连接的末段设有限位部,发热元件与限位部在轴向限位连接,引线脚与其末段形成倾斜的台阶面。限位部对发热元件的轴向移动进行限位,以阻止发热元件从引线脚上滑出,在金属保护管内部填充的电气绝缘粉末也对发热元件和引线脚具有压紧作用,从而对发热元件的径向进行限位,进一步保证发热元件与限位部连接的紧固性;在护套加热器弯曲后,保持发热元件各处温度的均匀一致性,提升半导体晶圆的化学气相沉积的效果;在护套加热器弯曲时,倾斜的台阶面能够减少因应力导致的断裂现象。
本实用新型一种加热管结构在权利要求书中公布了:1.一种加热管结构,其特征在于,包括:引线脚1和设置在金属保护管3内的发热元件2,所述金属保护管3内填充有电气绝缘粉末4,所述引线脚1与发热元件2连接的末段设有限位部,所述发热元件2与限位部在轴向限位连接,所述引线脚1与其末段形成倾斜的台阶面6。
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