西安卫光科技有限公司;西安微晶微电子有限公司魏干获国家专利权
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龙图腾网获悉西安卫光科技有限公司;西安微晶微电子有限公司申请的专利一种晶圆背面异常对应正面芯片点除的装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224139423U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202521150048.0,技术领域涉及:H10P72/00;该实用新型一种晶圆背面异常对应正面芯片点除的装置是由魏干;吴佳豪;黄伊曌;宋晨旭设计研发完成,并于2025-06-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆背面异常对应正面芯片点除的装置在说明书摘要公布了:本申请提供了一种晶圆背面异常对应正面芯片点除的装置,涉及集成电路制造领域,包括:点除装置面板刻有Y轴带数字坐标刻度;晶圆放置载盘用于承载放置晶圆;X轴带数字刻度丝杆用于晶圆B面的X轴坐标定位;Y轴可滑动定位丝杆用于根据Y轴带数字坐标刻度对晶圆B面的Y轴坐标定位;X轴透明定位滑动块用于X轴方向定位;晶圆点除墨管用于根据晶圆B面的异常坐标对背面异常对应的晶圆A面芯片进行点除。解决了现有技术中晶圆背面异常无法精准映射至正面芯片位置,导致加工成本高、产品质量低的技术问题,达到了通过双向坐标刻度与自动翻转机构协同,提高晶圆异常定位精度、减少误操作风险,确保芯片质量的技术效果。
本实用新型一种晶圆背面异常对应正面芯片点除的装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆背面异常对应正面芯片点除的装置,其特征在于,所述装置包括: 点除装置面板,所述点除装置面板上刻有Y轴带数字坐标刻度; 晶圆放置载盘,所述晶圆放置载盘安置在所述点除装置面板上,且所述晶圆放置载盘的直径尺寸小于晶圆尺寸,用于承载放置晶圆; X轴带数字刻度丝杆,所述X轴带数字刻度丝杆安装在所述点除装置面板上,所述X轴带数字刻度丝杆的表面刻有X轴两组正反方向带数字坐标刻度,用于晶圆B面的X轴坐标定位; Y轴可滑动定位丝杆,所述Y轴可滑动定位丝杆的长度方向垂直于所述X轴带数字刻度丝杆,且所述X轴带数字刻度丝杆和所述Y轴可滑动定位丝杆通过丝杆连接器安装在所述点除装置面板上,用于根据所述Y轴带数字坐标刻度对所述晶圆B面的Y轴坐标定位; X轴透明定位滑动块,所述X轴透明定位滑动块沿所述X轴带数字刻度丝杆上滑动,用于X轴方向定位; 晶圆点除墨管,所述晶圆点除墨管安装在所述X轴透明定位滑动块上,带动所述X轴带数字刻度丝杆和所述Y轴可滑动定位丝杆滑动对所述晶圆B面进行异常定位,并根据所述晶圆B面的异常坐标对背面异常对应的晶圆A面芯片进行点除。
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