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龙图腾网获悉量伙半导体设备(上海)有限公司申请的专利一种RTP退火炉晶圆传片动态仿真优化系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224137714U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520699259.3，技术领域涉及：G06F30/20；该实用新型一种RTP退火炉晶圆传片动态仿真优化系统是由汪知昱;吴云鹏;王玉冰;余云龙设计研发完成，并于2025-04-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种RTP退火炉晶圆传片动态仿真优化系统在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种RTP退火炉晶圆传片动态仿真优化系统，涉及退火炉晶圆传片动态仿真技术领域，本实用新型通过路径选择模块以高电平信号的方式选择传片路径，通过速度调节模块调节传片速度，并通过通讯接口模块发送传片路径与传片速度至传片模块，传片模块根据路径选择模块发送的传片路径、速度调节模块发送的传片速度进行传片仿真，精度检测模块安装在晶圆载具四周用于检测传片模块传片时晶圆放置位置准确的精度是否满足仿真要求，精度选择模块用于调整晶圆放置位置准确的精度并发送至精度检测模块，速度检测模块用于检测传片模块传片过程的时间，仿真显示模块用于显示晶圆放置位置准确的精度与晶圆传片时间。

本实用新型一种RTP退火炉晶圆传片动态仿真优化系统在权利要求书中公布了：1.一种RTP退火炉晶圆传片动态仿真优化系统，其特征在于，包括： 路径选择模块10，所述路径选择模块10与通讯接口模块30电性连接，用于产生在晶圆传片时控制传片路径的高电平信号，并通过通讯接口模块30发送传片路径至传片模块40； 速度调节模块20，所述速度调节模块20与通讯接口模块30电性连接，用于产生控制传片速度的模拟电压信号，通过通讯接口模块30发送传片模块40； 通讯接口模块30，所述通讯接口模块30与传片模块40电性连接，用于在路径选择模块10、速度调节模块20与传片模块40之间传输模拟电压信号与高电平信号； 传片模块40，所述传片模块40用于根据路径选择模块10发送的选择传片路径的高电平信号与速度调节模块20发送的控制传片速度的模拟电压信号设定传片参数； 精度检测模块50，所述精度检测模块50安装在晶圆载具四周，与仿真显示模块80电性连接，用于检测传片模块40传片时晶圆放置位置的精度，并生成精度数据，把精度数据与精度阈值比较后，超过精度阈值的数据发送至仿真显示模块80； 精度选择模块60，所述精度选择模块60与精度检测模块50电性连接，用于调整晶圆放置位置准确的精度阈值，并发送精度阈值至精度检测模块50； 速度检测模块70，所述速度检测模块70与仿真显示模块80电性连接，用于检测传片模块40传片过程的时间，并发送至仿真显示模块80； 仿真显示模块80，所述仿真显示模块80用于显示晶圆放置位置准确的精度与晶圆传片时间。

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