苏州华兴源创科技股份有限公司丁晓帅获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州华兴源创科技股份有限公司申请的专利一种基板检测装置及系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224137205U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520927208.1,技术领域涉及:G01N21/88;该实用新型一种基板检测装置及系统是由丁晓帅;孙逸设计研发完成,并于2025-05-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基板检测装置及系统在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种基板检测装置及系统。基板检测装置设置于承载机构的检测工位,包括相机、第一至第三反射镜、第一和第二光源;承载机构用于承载基板;第一至第三反射镜的反射面分别与第一方向相交,第一方向垂直于承载机构的承载面,第一反射镜设置在承载机构在第二方向上的一侧,第二方向垂直于第一方向,第二和第三反射镜分别设置在承载机构的在第一方向上的两侧;第一光源用于形成顶面和底面的成像光,第二和第三反射镜分别用于将顶面和底面的成像光反射至第一反射镜,第二光源用于形成侧面的成像光,第一反射镜用于将侧面、顶面和底面的成像光反射至相机。
本实用新型一种基板检测装置及系统在权利要求书中公布了:1.一种基板检测装置,其特征在于,设置于承载机构的检测工位,所述基板检测装置包括:相机、第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、第一光源和第二光源; 所述承载机构用于承载基板; 所述第一反射镜的反射面、所述第二反射镜的反射面和所述第三反射镜的反射面分别设置为与第一方向相交,所述第一方向垂直于所述承载机构的承载面,所述第一反射镜设置在所述承载机构在第二方向上的一侧,所述第二方向垂直于所述第一方向,所述第二反射镜和所述第三反射镜分别设置在所述承载机构的在所述第一方向上的两侧; 所述第一光源用于向承载于所述承载机构的基板的顶面和底面出光以形成所述顶面的成像光和所述底面的成像光,所述第二反射镜用于将所述顶面的成像光反射至所述第一反射镜,所述第三反射镜用于将所述底面的成像光反射至所述第一反射镜,所述第二光源用于向承载于所述承载机构的基板的侧面出光以形成所述侧面的成像光,所述第一反射镜用于将所述侧面的成像光、所述顶面的成像光和所述底面的成像光反射至所述相机。
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