上海衍梓智能科技有限公司郑国获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉上海衍梓智能科技有限公司申请的专利一种半导体处理用气体冷却装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224136434U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423265584.3，技术领域涉及：F28D7/16；该实用新型一种半导体处理用气体冷却装置是由郑国;杨正平设计研发完成，并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体处理用气体冷却装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种半导体处理用气体冷却装置，其装设在半导体反应腔气体出口和真空泵之间。前述冷却装置包括壳体、托架、立置固定在壳体内的两块盖板、隔板I和两块隔板II、用于传输半导体处理工艺气体的若干根气体管路、用于将冷却水送入壳体内的进水管件、以及用于排出冷却水的出水管件。壳体通过两块盖板划分为进气部、冷却部和出气部，且冷却部通过隔板I分为冷却腔a和冷却腔b，冷却腔a通过其中一块隔板II分为底部相连通的两个空间，冷却腔b通过剩余一块隔板II分为底部相连通的两个空间。本实用新型冷却时传热面积大且整个冷却过程中，冷却介质处于流动状态，可获得较好的传热效率，实现气体温度的快速降低。
本实用新型一种半导体处理用气体冷却装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体处理用气体冷却装置，其包括壳体1； 其特征在于，所述冷却装置还包括： 立置固定在所述壳体1内的两块盖板2、隔板I4和两块隔板II5；其中，所述壳体1通过两块盖板2划分为进气部、冷却部和出气部，且冷却部通过隔板I4分为冷却腔a和冷却腔b，冷却腔a通过其中一块隔板II5分为底部相连通的两个空间，冷却腔b通过剩余一块隔板II5分为底部相连通的两个空间； 用于传输半导体处理工艺气体的若干根气体管路3，其垂直焊接于两块盖板2之间； 用于将冷却水送入壳体1内的进水管件6；以及 用于排出冷却水的出水管件7。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海衍梓智能科技有限公司，其通讯地址为：201821 上海市嘉定区嘉定工业区叶城路912号JT17121室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励