日本碍子株式会社久野达也获国家专利权
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龙图腾网获悉日本碍子株式会社申请的专利晶片载置台获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115472549B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210623340.4，技术领域涉及：H10P72/72；该发明授权晶片载置台是由久野达也;胁坂拓实设计研发完成，并于2022-06-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶片载置台在说明书摘要公布了：本发明提供一种晶片载置台，其能够非破坏性地进行埋设于陶瓷基板的第一电极和向该第一电极供电的第一供电端子的第一接合部的检查。静电卡盘加热器具备陶瓷基板、加热器电极、加热器供电端子、接合部以及静电电极。加热器电极埋设于陶瓷基板。加热器供电端子从陶瓷基板中的与晶片载置面相反侧的面朝向加热器电极插入。接合部将加热器电极与加热器供电端子接合。静电电极设置在晶片载置面与加热器电极之间。在陶瓷基板的内部且从加热器电极中的与接合部相反侧的位置到晶片载置面为止的直线状部分P由陶瓷基板的材料构成。
本发明授权晶片载置台在权利要求书中公布了：1.一种晶片载置台，具备： 陶瓷基板，其具有晶片载置面； 第一电极，其埋设于所述陶瓷基板； 第一供电端子，其从所述陶瓷基板中的与所述晶片载置面相反侧的面朝向所述第一电极插入； 第一接合部，其将所述第一电极与所述第一供电端子接合；以及 第二电极，其设置在所述陶瓷基板中的所述晶片载置面与所述第一电极之间， 在所述陶瓷基板的内部且从所述第一电极中的与所述第一接合部相反侧的位置到所述晶片载置面为止的直线状部分由所述陶瓷基板的材料构成， 所述第二电极在将所述第一接合部沿铅直方向投影于所述第二电极的位置具有贯通孔，所述贯通孔的内部由所述陶瓷基板的材料填充而构成所述直线状部分的一部分。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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