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爱丁堡(南京)光电设备有限公司王善忠获国家专利权

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龙图腾网获悉爱丁堡(南京)光电设备有限公司申请的专利一种通用型光学元件表面质量旋转扫描检测的方法及装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115420683B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211134390.2,技术领域涉及:G01N21/01;该发明授权一种通用型光学元件表面质量旋转扫描检测的方法及装置是由王善忠设计研发完成,并于2022-09-19向国家知识产权局提交的专利申请。

一种通用型光学元件表面质量旋转扫描检测的方法及装置在说明书摘要公布了:本发明公开了一种通用型光学元件表面质量旋转扫描检测的方法及装置,扫描检测方法,包括:将待测元件从边缘到中心的弧线细分为n个分段;同心旋转拍摄:相机成像镜头的光轴通过待测元件光学球面的球心,且相机成像镜头的对准待测元件边缘起的第一分段,将待测元件沿自身光轴旋转360度,相机将跟随扫过球面的360度,实现对球面的一条环形带的成像;保持成像镜头的光轴始终通过待测元件光学球面的球心,并调节成像镜头与待测元件光轴的夹角、使相机成像镜头的对准待测元件边缘起的第二分段,将待测元件沿自身光轴旋转360度,实现对球面的一条环形带的成像,依次类推进行,直至完成待测元件表面的扫描检测。本发明适于各种面型光学元件的清晰无死角检测。

本发明授权一种通用型光学元件表面质量旋转扫描检测的方法及装置在权利要求书中公布了:1.一种通用型光学元件表面质量旋转扫描检测的方法,其特征在于: 所用的通用型光学元件表面质量旋转扫描检测的装置,包括旋转轴一和旋转轴三,旋转轴一和旋转轴三相对、且同轴设置; 旋转轴一上安装有纵向支撑结构一,旋转轴一可带动纵向支撑结构一转动;纵向支撑结构一上安装有可上下滑动的线性移动轴一,线性移动轴一上安装有横梁一,横梁一上安装有相机和成像镜头,转动旋转轴一可带动相机和成像镜头以旋转轴一轴线的延长线为中心旋转、且旋转过程中相机和成像镜头的光轴始终与旋转轴一轴线的延长线相交; 旋转轴三上安装有纵向支撑结构二,旋转轴三可带动纵向支撑结构二转动;纵向支撑结构二上安装有可上下滑动的线性移动轴二,线性移动轴二上安装有横梁二,在横梁二上设有样品夹具,样品夹具上设有XY微调机构和旋转机构,旋转机构可绕旋转轴二旋转,旋转轴二与旋转轴一和旋转轴三轴线的延长线均垂直相交; 通用型光学元件表面质量旋转扫描检测的方法,包括如下步骤: 1转动旋转轴三,将纵向支撑结构二和线性移动轴二调节到竖直状态,将待测元件夹持到样品夹具上,待测元件的光学球面向上;转动旋转轴一,将纵向支撑结构一和线性移动轴一调节到竖直状态,相机和成像镜头竖直向下; 2微调样品夹具上的XY微调机构,使待测元件的光轴垂直向上,并与相机和成像镜头同轴; 3调节线性移动轴二的位置,使得待测元件光学球面的球心落在旋转轴一轴线的延长线上; 4将待测元件从边缘到中心的弧线细分为n个分段;转动旋转轴一,支撑结构一绕旋转轴一旋转、以调整成像镜头与旋转轴二的夹角,使成像镜头对准待测元件边缘起的第一分段、且保持成像镜头的光轴始终通过光学球面的球心,在旋转机构的带动下、待测元件绕旋转轴二旋转360度,相机将跟随扫过球面的360度,实现对球面的一条环形带的成像; 5保持成像镜头的光轴始终通过待测元件光学球面的球心,并调节成像镜头与待测元件光轴的夹角、使相机成像镜头对准待测元件边缘起的第二分段,将待测元件沿自身光轴旋转360度,实现对球面的一条环形带的成像,依次类推进行,直至完成每个分段的成像,也即完成了待测元件整个光学球面的扫描检测; 步骤1中,样品夹具的高度位于旋转轴三轴线高度附近,如果待测元件的光学球面是凹球面,则将线性移动轴二向下调节曲率半径的高度,如果待测元件的光学球面是凸球面,则将线性移动轴二向上调节曲率半径的高度; 步骤3包括如下步骤: 31将纵向支撑结构一绕旋转轴一旋转以调整成像镜头与旋转轴二的夹角,使成像镜头对准待测元件光学球面的边缘;然后,通过上下移动线性移动轴一、调节成像镜头到准待测元件的距离,以获取准待测元件边缘的清晰成像; 32沿旋转轴二转动待测样品360度,通过观察待测样品边缘图像的清晰程度和在图像上的位置漂移,通过水平调节机构调节待测样品的水平度,直至待测样品边缘的清晰度不随样品的转动而变化,且待测样品边缘在图像上的位置也不随样品的转动而漂移,此时,待测样品的水平度就得到了保证; 33开启成像镜头中的同轴照明光源,将同轴照明光照射到待测元件光学球面,然后通过线性移动轴一上下移动来调节成像镜头与待测元件间的距离,直到被待测元件光学球面反射回来的光成像到相机的像平面上;然后,调节成像镜头与旋转轴二之间的夹角,让同轴照明光扫过待测元件的光学球面,观察反射光在像平面上的大小和形状,如果发现反射光在像平面上的大小和形状随着成像镜头与旋转轴二之间的夹角的变化而变化,则需要调升或调降样品夹具的高度,直至当调节成像镜头与旋转轴二之间的夹角时,反射光在像平面上的大小和形状完全不再发生变化,此时,被测光学球面的球心就落到了旋转轴一的延长线上了,此为同心度调节; 34微调样品夹具上的XY微调机构,使待测元件的光轴垂直向上,并重复第32步,使成像镜头能够实现对待测元件球面边缘清晰成像,至此,对光学球面进行扫描检测的条件就达成了; 步骤4中,将待测元件从边缘到中心的弧线分割成弓高≤成像镜头景深的n个折线分段。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人爱丁堡(南京)光电设备有限公司,其通讯地址为:211123 江苏省南京市江宁区湖熟工业集中区波光路18号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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